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本发明涉及掩膜版领域，具体来说是一种精细掩膜版及该精细掩膜版的制作方法，包括掩膜版本体，所述掩膜版本体上设有外筐区以及有效区；所述有效区的掩膜版本体厚度小于外筐区的掩膜版本体厚度；所述掩膜版本体竖直截面呈倒[型；本发明通过对精细掩膜版进行优...
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