下载复合基板及复合基板的制造方法的技术资料

文档序号:40946486

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本发明提供翘曲的发生得以抑制的复合基板。本发明的实施方式的复合基板具有:支撑基板、以及配置于所述支撑基板的上方的压电膜,所述压电膜由利用Lotgering法求出的c轴取向度为80%以下的多晶体构成。...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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