复合基板及复合基板的制造方法技术

本发明专利技术提供翘曲的发生得以抑制的复合基板。本发明专利技术的实施方式的复合基板具有：支撑基板、以及配置于所述支撑基板的上方的压电膜，所述压电膜由利用Lotgering法求出的c轴取向度为80％以下的多晶体构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及复合基板及复合基板的制造方法。

技术介绍

1、使电气－机械转换膜振动的压电致动器在喷墨记录装置的液滴喷出头中已实用化。近年来，关于压电致动器，期待在其他用途(例如平视显示器用的mems振镜器件)中的应用。对于压电致动器中使用的压电元件，例如，如专利文献1所公开那样，使用如下复合基板，该复合基板具备：形成在基板上的下部电极、形成在下部电极上的压电层、以及形成在压电层上的上部电极。作为另一例，如专利文献2所公开那样，使用设置有上部电极及下部电极的压电体和支撑基板借助粘接剂而接合得到的压电元件。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2017/043383号

5、专利文献2：日本特许第5525351号公报

技术实现思路

1、然而，在制作上述复合基板之后，使用专利文献1中公开的方法的情况下，存在容易发生翘曲的问题。翘曲的发生会导致成品率的降低。不过，虽然使用专利文献2中公开的方法的情况下，能够抑制翘曲的发生，但是，难以将压电体薄膜化，难本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种复合基板，其中，具有：

2.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

3.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

4.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

5.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

6.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

7.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

8.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

9.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

10.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

11.根据权利要求10所述的复合基板，其中，

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种复合基板，其中，具有：

2.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

3.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

4.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

5.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

6.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

7.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

8.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：鹈野雄大，多井知义，滑川政彦，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：