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本发明公开了双效精馏提纯四氯化硅方法，它包括以下步骤：（１）前段工艺得到的粗四氯化硅先进入喷淋塔，喷淋塔塔顶冷的分凝器采出的气相为不凝气并且经分凝器冷凝得到的液相粗四氯化硅部分回流，部分作为出料进入脱轻塔；喷淋塔塔釜出料部分进入喷淋塔塔釜再...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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