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本发明涉及一种具有螺管式加热电阻的三维微型加热器及其制作方法，其特征在于横截面呈“Ｖ”字形或倒梯形结构的凹槽形加热区支撑膜通过支撑悬梁与衬底框架相连；上加热电阻丝和下加热电阻丝相连形成嵌入在加热区支撑膜内的螺管式加热电阻并通过支撑悬梁上的引...
该专利属于上海芯敏微系统技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯敏微系统技术有限公司授权不得商用。

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