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一种四氯化硅转化生产三氯氢硅的方法，其特征在于，该方法包括在催化剂存在下，将四氯化硅、氢气气流和硅粉接触，得到三氯氢硅；所述氢气气流为由三氯氢硅与氢气反应制备多晶硅时回收的氢气组分，其中，所述回收的氢气组分中氢气的含量大于８５体积％；所述催...
该专利属于洛阳晶辉新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳晶辉新能源科技有限公司授权不得商用。

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