下载场效应晶体管的技术资料

文档序号:4094078

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本发明涉及一种场效应晶体管FET(10),其包括栅极叠层(29),一对设置在所述栅极叠层(29)的侧壁上的第一隔离体(32)以及一对设置在所述栅极叠层(29)的相对两侧并与栅极叠层相隔第一距离的单晶半导体合金区(39)。所述FET(10)的...
该专利属于国际商业机器公司;株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司;株式会社东芝授权不得商用。

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