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本发明提供了一种四象限探测器，包括：用于折射光线的MEMS镜，所述MEMS镜连接有一驱动电路，所述驱动电路连接有一探测器芯片，所述探测器芯片通过信号链路连接有信号输出端，所述MEMS镜带动折射光进入探测器芯片，所述探测器芯片包括：四个象限探...
该专利属于苏州微光电子融合技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微光电子融合技术研究院有限公司授权不得商用。

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