一种四象限探测器及其控制方法技术

本发明专利技术提供了一种四象限探测器，包括：用于折射光线的MEMS镜，所述MEMS镜连接有一驱动电路，所述驱动电路连接有一探测器芯片，所述探测器芯片通过信号链路连接有信号输出端，所述MEMS镜带动折射光进入探测器芯片，所述探测器芯片包括：四个象限探测器芯片、中心光电探测器、电源以及放大电路。通过四象限探测器与折射光线、MEMS镜以及驱动电路配合，对折射光线进行实时调节，带动折射光线处于四象限探测器中心位置，提高探测器分辨率，探测精度以及降低响应时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探测器领域，具体涉及一种四象限探测器及其控制方法。

技术介绍

1、激光定位技术是一种综合了激光技术、半导体技术和计算机技术的新技术，这项技术的发展一方面得益于激光具有高稳定性和高准直性的特点，另一方面得益于近些年的半导体技术和计算机技术快速发展。激光定位技术也是激光测量技术中的重要组成部分，它广泛应用于激光测量、激光通信和微观粒子测量等领域。

2、在生物医学领域中，通常利用光学显微镜进行对细胞和大颗粒蛋白质进行观察，如果需要移动和操纵细胞这种微小颗粒则需要用光镊进行。

3、在生物医学领域中，通常利用光学显微镜进行对细胞和大颗粒蛋白质进行观察，如果需要移动和操纵细胞这种微小颗粒则需要用光镊进行，但是移动和观察过程中无法对光线进行实时角度调节，导致现有的探测器分辨率低、探测精度低和响应时间长等特点。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本专利技术提出了一种四象限探测器，包括：用于折射光线的mems镜，所述mems镜连接有一驱动电路，所述驱动电路连接有一探测器芯片，所述探测器本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种四象限探测器，其特征在于，包括：用于折射光线的MEMS镜，所述MEMS镜连接有一驱动电路，所述驱动电路连接有一探测器芯片，所述探测器芯片通过信号链路连接有信号输出端，所述MEMS镜带动折射光进入探测器芯片；

2.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述象限探测器芯片采用硅基光电探测器。

3.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述驱动电路包括：调理电路以及模拟传感器。

4.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述象限探测器的中央集成了一块探测器的接收机电路，可以进行高速的光通信。

5.一种用于权利要求1...

【技术特征摘要】

1.一种四象限探测器，其特征在于，包括：用于折射光线的mems镜，所述mems镜连接有一驱动电路，所述驱动电路连接有一探测器芯片，所述探测器芯片通过信号链路连接有信号输出端，所述mems镜带动折射光进入探测器芯片；

2.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述象限探测器芯片采用硅基光电探测器。

3.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述驱动电路包括：调理电路以及模拟传感器。

4.根据权利要求1所述的四象限探测器，其特征在于，所述象限探测器的中央集成了一块探测器的接收机电路，可以进行高速的光通信。

5.一种用于权利要求1至4任意一项四象限探测器的控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，
申请(专利权)人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：