下载霍尔离子源、复合工件及其制备方法和电子设备的技术资料

文档序号:40938005

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本发明涉及一种电子设备技术领域,特别涉及霍尔离子源、复合工件及其制备方法和电子设备。所述霍尔离子源包括中空壳体、位于所述中空壳体上的阴极以及设置于所述中空壳体内部的阳极、气体分流器和磁性体;所述中空壳体的顶部设置有开口,所述开口与所述阴极对...
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