下载一种涂布装置及涂布方法的技术资料

文档序号:40937643

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种涂布装置及涂布方法,其中,涂布装置包括晶硅承载件、掩膜板承载件以及涂布头;晶硅承载件用于固定晶硅;掩膜板承载件用于固定掩膜板,所述掩膜板承载件靠近所述晶硅承载件以使所述掩膜板间隔设置在所述晶硅的外周;涂布头用于涂布浆料,所述...
该专利属于德沪涂膜设备(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德沪涂膜设备(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。