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本申请涉及阀块结构技术领域，尤其涉及一种模块化真空密封阀组，包括阀块主体、控制阀、真空阀、输入管、输出管和连接管，所述阀块主体内设置有抽真空通道和辅助通道，所述控制阀、真空阀、输入管、输出管和连接管均连接在阀块主体上，所述控制阀与连接管连通...
该专利属于常州容导精密装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州容导精密装备有限公司授权不得商用。

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