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本技术公开了一种高纯气体输送管路漏气检测设备，涉及管件漏气检测技术领域，包括控制箱和管件本体，控制箱上固定连接有检测箱，管件本体位于检测箱内，检测箱内设置有用于对管件本体一端封闭的支撑组件。本技术设计结构合理，它利用支撑组件和送气组件将管件...
该专利属于钰镍（上海）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过钰镍（上海）半导体科技有限公司授权不得商用。

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