【技术实现步骤摘要】
本技术涉及管件漏气检测，具体是一种高纯气体输送管路漏气检测设备。
技术介绍
1、实验室高纯气体管道是专门用于供应高纯度气体的管道系统，高纯气体是指除去杂质，成分几乎纯净的气体，广泛用于科研实验、工业制造等领域，实验室高纯气体管道的作用不可忽视，它不仅可以提供稳定的气体供应，还能保证气体的纯度，保障实验室的正常运行。
2、公开号为cn218822994u的中国技术中，公开了一种管路组件漏气检测设备，它采用将通电并通入高压气体的管路组件浸在纯化水槽内的纯化水中，若管路组件漏气，则会有气泡冒出，从而能够检测管路组件是否会漏气。
3、该装置虽利用气体在水中会产生水泡的原理可对管件是否存在漏气进行检测，但是，管件在检测结束后其表面容易附着纯化水，需要进行烘干后才可投入下道生产工序，并且管件内壁上附着的水还不易清除，若产生残留会影响管件的后续加工质量。为此，我们提供了一种高纯气体输送管路漏气检测设备解决以上问题。
技术实现思路
1、一)解决的技术问题
2、本技术的目...
【技术保护点】
1.一种高纯气体输送管路漏气检测设备，包括控制箱(1)和管件本体(9)，其特征在于：所述控制箱(1)上固定连接有检测箱(2)，所述管件本体(9)位于所述检测箱(2)内，所述检测箱(2)内设置有用于对管件本体(9)一端封闭的支撑组件，所述控制箱(1)上设置有用于对管件本体(9)另一端送气的送气组件，所述控制箱(1)内安装有氦气检测器(4)和真空泵(6)，所述氦气检测器(4)的检测端位于检测箱(2)内，所述真空泵(6)的输入端安装有抽气管(8)，且抽气管(8)远离真空泵(6)的一端固定连通于检测箱(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种高纯气体输送管路漏气检测...
【技术特征摘要】
1.一种高纯气体输送管路漏气检测设备，包括控制箱(1)和管件本体(9)，其特征在于：所述控制箱(1)上固定连接有检测箱(2)，所述管件本体(9)位于所述检测箱(2)内，所述检测箱(2)内设置有用于对管件本体(9)一端封闭的支撑组件，所述控制箱(1)上设置有用于对管件本体(9)另一端送气的送气组件，所述控制箱(1)内安装有氦气检测器(4)和真空泵(6)，所述氦气检测器(4)的检测端位于检测箱(2)内，所述真空泵(6)的输入端安装有抽气管(8)，且抽气管(8)远离真空泵(6)的一端固定连通于检测箱(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种高纯气体输送管路漏气检测设备，其特征在于：所述支撑组件包括固定连接于检测箱(2)内的固定杆(10)，所述固定杆(10)上转动连接有接头一(11)，所述管件本体(9)的一端安装于接头一(11)内。
3.根据权利要求1所述的一种高纯气体输送管路漏气检测设备，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐福成，牟珍蓉，
申请(专利权)人：钰镍上海半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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