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公开一种在溅射系统中用于控制离子密度和溅射速率的方法。在一个实施例中，加第一脉冲宽度功率信号到阴极，从而产生较高的浓度离子。然后，减小第一脉冲宽度功率信号的脉冲宽度，从而增大溅射速率和减小阴极周围的离子密度。其次，重复该过程以产生调制的信号...
该专利属于应用膜公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用膜公司授权不得商用。

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