下载一种承载硅片的载具及选择性发射极太阳电池的掩膜工艺的技术资料

文档序号:4093386

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本发明提供了一种可实现选择性掩膜的工艺和设备,其特征在于在一种气相淀积设备或一种扩散系统上,设计一种承载硅片的载具,把织构化后的太阳电池片置于载具中,载具子结构的栅线状设计正好将硅片的正面电极区域或非电极受光区域掩盖住,将整个载具通过传输进...
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