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薄膜场效应三极管阵列及液晶显示器制备方法技术
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文档序号:4093373
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本发明实施例公开了可降低漏电流的薄膜场效应三极管TFT阵列及液晶显示器制备方法。上述阵列制备方法包括:提供基底,所述基底具有沟道区,所述沟道区上覆盖有保护层;在所述基底上形成导电层图形;对所述沟道区上的保护层去除预设厚度;对去除保护层预设厚...
该专利属于信利半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信利半导体有限公司授权不得商用。
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