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本发明实施例提供了一种太阳能电池硅片的常压氧化退火方法、硅片及电池,其中,方法包括:在常压条件下,依次对炉管中待处理的硅片进行升温、氧化处理;在常压条件下,对氧化处理后的硅片进行阶梯降温退火处理;其中,所述阶梯降温退火处理的氮气流量为200...该专利属于一道新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过一道新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供了一种太阳能电池硅片的常压氧化退火方法、硅片及电池,其中,方法包括:在常压条件下,依次对炉管中待处理的硅片进行升温、氧化处理;在常压条件下,对氧化处理后的硅片进行阶梯降温退火处理;其中,所述阶梯降温退火处理的氮气流量为200...