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本发明公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本发明可以通过进气管...
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