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本发明公开了一种多层衬底原子层沉积装置，包括反应外腔体、反应内腔体、进气扩口、集成进气机构及若干衬底载具。反应外腔体处于横向的两端分别设有进气端盖和固定端盖。反应内腔体设在反应外腔体内，包括内腔主体、分设在内腔主体横向两端的进气栅板、密封端...
该专利属于南京原磊纳米材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京原磊纳米材料有限公司授权不得商用。

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