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本发明提供一种涂布供液系统，属于封装光刻胶涂布系统技术领域，特别涉及一种基于封装光刻胶的有机溶剂的涂布供液系统，包括旋转涂布架，所述旋转涂布架上设有供液系统，供液系统和旋转涂布架与监测控制系统连接，旋转涂布架和供液系统通过传感器系统与监测控...
该专利属于苏州坤汇半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州坤汇半导体有限公司授权不得商用。

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