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本技术公开了一种碳化硅晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括底板，所述底板的中部固定连接有一号清洗浴槽，所述一号清洗浴槽的一侧固定连通有水泵，所述水泵的输出端固定连通有喷头，所述喷头的一侧固定连接在一号清洗浴槽内壁的一侧，所述一号清洗浴槽...
该专利属于临沭县金山碳化硅有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过临沭县金山碳化硅有限责任公司授权不得商用。

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