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本发明涉及一种基于波前偏振干涉的全息光刻曝光设备，属于光刻技术领域。该曝光设备包括外套筒；所述外套筒内部依次布设有波前调制器、滑筒1、透镜1、透镜2、透镜3、透镜4、频谱调制器、透镜5、透镜6、透镜7、透镜8、滑筒2和曝光面。本发明通过采用...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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