下载沉积设备的技术资料

文档序号:40919109

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提供了一种沉积设备,其包括:掩模,在掩模中限定有多个沉积开口;掩模框架,包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分并且设置在掩模的后表面上,并且在掩模框架中限定有开口;平台,设置在掩模框架的后表面上;以及第一外力施加部、第二外力施加部和第三...
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