下载一种降低压力变化影响的氦质谱累积检漏系统的技术资料

文档序号:40917512

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本发明涉及一种降低压力变化影响的氦质谱累积检漏系统,其特征在于,包括收集器、循环风扇、驱动电机、循环风道、校准器、检漏仪以及被检产品;其中,收集器,具有气密特性,其内腔放置被检产品,收集器上密封安装有收集器压力表、收集器温度计、收集器平衡阀...
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