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本发明公开了一种具有微动平台的激光直写光刻设备，本发明涉及激光直写光刻设备领域，包括设备本体，所述设备本体的左右两侧对称活动连接有驱动组件，第一滑块的正面固定连接有激光直写头，设备本体顶部的正中固定连接有底座，底座顶部的正中固定连接有感应条...
该专利属于江苏大衍光子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大衍光子科技有限公司授权不得商用。

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