【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光直写光刻设备领域，特别涉及一种具有微动平台的激光直写光刻设备。
技术介绍
1、激光直写光刻设备是一种用于物理学、信息科学与系统科学、材料科学、机械工程领域的仪器，是基于空间光调制器的直写光刻设备，用于制作光刻掩膜。
2、激光直写光刻设备为达到高精度的平台，其整体技术难度高，且整体造价的成本昂贵，在进行光刻处理时，材料不能进行微动，导致加工的精度会受到影响。
3、因此，提出一种具有微动平台的激光直写光刻设备来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种具有微动平台的激光直写光刻设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
3、一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体，所述设备本体的左右两侧对称活动连接有驱动组件，两个所述驱动组件相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨，所述横向滑轨的正面电性连接有第一滑块，所述第一滑块的正面固定连接有激光直写头；>
4、所述设备本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体（1），其特征在于：所述设备本体（1）的左右两侧对称活动连接有驱动组件（6），两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨（11），所述横向滑轨（11）的正面电性连接有第一滑块（12），所述第一滑块（12）的正面固定连接有激光直写头（13）；
2.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）正面的左侧固定连接有控制器（2），所述设备本体（1）左右两侧的正中对称开设有第一活动槽（4），右侧所述第一活动槽（4）的内腔中转动连接有第一直线滑台（5），所述第...
【技术特征摘要】
1.一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体（1），其特征在于：所述设备本体（1）的左右两侧对称活动连接有驱动组件（6），两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨（11），所述横向滑轨（11）的正面电性连接有第一滑块（12），所述第一滑块（12）的正面固定连接有激光直写头（13）；
2.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）正面的左侧固定连接有控制器（2），所述设备本体（1）左右两侧的正中对称开设有第一活动槽（4），右侧所述第一活动槽（4）的内腔中转动连接有第一直线滑台（5），所述第一直线滑台（5）的背面通过第一转轴固定连接有第一直线电机（3），所述第一直线电机（3）固定连接在设备本体（1）背面的右侧，左侧所述第一活动槽（4）的内腔中固定连接有导向柱（8）。
3.根据权利要求2所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的底部对称固定连接有驱动块（7），两个所述驱动块（7）对称活动连接在两个第一活动槽（4）的内腔中，右侧所述驱动块（7）连接在第一直线滑台（5）的外壁，左侧所述驱动块（7）套设在导向柱（8）的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称开设有举升槽（9），两个所述举升槽（9）内腔的底部对称固定连接有压电马达微位移平台（10），所述横向滑轨（11）左右两侧的正中对称活动连接在两个举升槽（9）的内腔中，两个所述压电马达微位移平台（10）的顶部对称固定连接在横向滑轨（11）左右两侧的底部。
5.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）顶部的左右两侧对称固定连接有限位座（14），两个所述限位座（14）内腔的正面对称固定连接有限位链条（16），两个所述驱动组件（6）相对的一侧对称固定连接有限位滑块（15），两个所述限位滑块（15）对称活动连接在两个限位座（14）的内腔中，两个所述限位链条（16）的背面对称固定连接在两个限位滑块（15）的背面。
6.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：王新辉，
申请(专利权)人：江苏大衍光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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