【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光直写光刻设备领域，特别涉及一种具有微动平台的激光直写光刻设备。
技术介绍
1、激光直写光刻设备是一种用于物理学、信息科学与系统科学、材料科学、机械工程领域的仪器，是基于空间光调制器的直写光刻设备，用于制作光刻掩膜。
2、激光直写光刻设备为达到高精度的平台，其整体技术难度高，且整体造价的成本昂贵，在进行光刻处理时，材料不能进行微动，导致加工的精度会受到影响。
3、因此，提出一种具有微动平台的激光直写光刻设备来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种具有微动平台的激光直写光刻设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
3、一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体，所述设备本体的左右两侧对称活动连接有驱动组件，两个所述驱动组件相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨，所述横向滑轨的正面电性连接有第一滑块，所述第一滑块的正面固定连接有激光直写头；
4、所述设备本体顶部的正中固定连接有底座，所述底座顶部的正中固定连接有感应条，所述设备本体顶部的左右两侧对称固定连接有纵向滑轨，所述底座的顶部活动连接有移动台，所述移动台内腔的底部固定连接有激光测距传感器；
5、所述移动台的顶部转动连接有微动平台本体，所述微动平台本体顶部的左右两侧对称活动连接有微动组件，两个所述微动组件相对的一侧对称活动连接有适配组件，两个所述适配组件内腔相对
6、优选的，所述设备本体正面的左侧固定连接有控制器，所述设备本体左右两侧的正中对称开设有第一活动槽，右侧所述第一活动槽的内腔中转动连接有第一直线滑台，所述第一直线滑台的背面通过第一转轴固定连接有第一直线电机，所述第一直线电机固定连接在设备本体背面的右侧，左侧所述第一活动槽的内腔中固定连接有导向柱。
7、优选的，两个所述驱动组件相对一侧的底部对称固定连接有驱动块，两个所述驱动块对称活动连接在两个第一活动槽的内腔中，右侧所述驱动块连接在第一直线滑台的外壁，左侧所述驱动块套设在导向柱的外壁。
8、优选的，两个所述驱动组件相对一侧的顶部对称开设有举升槽，两个所述举升槽内腔的底部对称固定连接有压电马达微位移平台，所述横向滑轨左右两侧的正中对称活动连接在两个举升槽的内腔中，两个所述压电马达微位移平台的顶部对称固定连接在横向滑轨左右两侧的底部。
9、优选的，所述设备本体顶部的左右两侧对称固定连接有限位座，两个所述限位座内腔的正面对称固定连接有限位链条，两个所述驱动组件相对的一侧对称固定连接有限位滑块，两个所述限位滑块对称活动连接在两个限位座的内腔中，两个所述限位链条的背面对称固定连接在两个限位滑块的背面。
10、优选的，所述移动台左右两侧底部的正中对称固定连接有第二滑块，两个所述第二滑块均与两个纵向滑轨电性连接，所述移动台内腔的正中固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸的顶部通过第二转轴固定连接在微动平台本体底部的正中。
11、优选的，所述微动平台本体顶部的正面和背面对称开设有第二活动槽，两个所述第二活动槽的内腔中对称转动连接有第二直线滑台，两个所述第二直线滑台相背的一侧通过第三转轴对称固定连接有第二直线电机，右侧所述第二直线电机固定连接在微动平台本体右侧的正面，左侧所述第二直线电机固定连接在微动平台本体左侧的背面，左侧所述微动组件底部的正面连接在正面第二直线滑台的外壁，右侧所述微动组件底部的背面连接在背面第二直线滑台的外壁。
12、优选的，两个所述微动组件相对的一侧对称开设有移动槽，左侧所述移动槽开设在左侧微动组件右侧的正面，右侧所述移动槽开设在右侧微动组件左侧的正面，两个所述微动组件相背的一侧对称固定连接有液压推杆。
13、优选的，两个所述适配组件相背的一侧对称活动连接在两个移动槽的内腔中，所述适配组件与液压推杆相连接，两个所述适配组件内腔相对一侧的正中对称开设有限位槽，所述限位槽的内腔中固定连接在固定柱，所述固定柱的外壁缠绕有弹簧，所述伸缩柱活动连接在适配组件的内腔中，所述伸缩柱靠近适配组件的一端固定连接有限位块，所述限位块和伸缩柱均套设在固定柱的外壁，所述弹簧的一端与限位块连接，所述弹簧的另一端固定连接在适配组件的内腔中。
14、有益效果
15、与现有技术相比，本专利技术提供了一种具有微动平台的激光直写光刻设备，具备以下有益效果：
16、该具有微动平台的激光直写光刻设备，通过启动设置的第一直线电机，能带动第一直线滑台进行转动，使得右侧驱动块能与第一直线滑台连接，此时即可通过驱动组件和横向滑轨带动激光直写头进行纵向移动，通过启动设置的横向滑轨，能通过第一滑块带动激光直写头进行横向移动，通过启动设置的压电马达微位移平台，能带动激光直写头进行上下移动，此设备可动性高，使得工作范围较大。
17、该具有微动平台的激光直写光刻设备，通过启动设置的纵向滑轨，使得第二滑块能通过移动台带动微动平台本体进行移动，以此可以对微动平台本体顶部的材料进行微调处理，通过设置的激光测距传感器，配合设置的感应条，能对移动台移动的位置进行测距，以此保证移动距离的精度，通过启动设置的旋转气缸，能带动微动平台本体进行转动，以此可以进一步对材料进行位置的微动处理。
18、该具有微动平台的激光直写光刻设备，通过由两个第二直线电机驱动的第二直线滑台，能带动两个微动组件进行自由的左右移动，以此可以带动微动平台本体顶部的材料向右侧或左侧移动，同时还可以对材料进行限位处理。
19、该具有微动平台的激光直写光刻设备，通过启动设置的微动平台本体，能带动两个适配组件进行前后移动，以此可以对材料进行前移和后移，同样可以对材料进行微动处理，通过可活动设置的伸缩柱，能配合微动组件的移动而移动，同时设置的弹簧，能保持伸缩柱始终贴合在与其相连的微动组件处。
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1.一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体（1），其特征在于：所述设备本体（1）的左右两侧对称活动连接有驱动组件（6），两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨（11），所述横向滑轨（11）的正面电性连接有第一滑块（12），所述第一滑块（12）的正面固定连接有激光直写头（13）；
2.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）正面的左侧固定连接有控制器（2），所述设备本体（1）左右两侧的正中对称开设有第一活动槽（4），右侧所述第一活动槽（4）的内腔中转动连接有第一直线滑台（5），所述第一直线滑台（5）的背面通过第一转轴固定连接有第一直线电机（3），所述第一直线电机（3）固定连接在设备本体（1）背面的右侧，左侧所述第一活动槽（4）的内腔中固定连接有导向柱（8）。
3.根据权利要求2所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的底部对称固定连接有驱动块（7），两个所述驱动块（7）对称活动连接在两个第一活动槽（4）的内腔中，右侧所述驱动块（7）连接在第
4.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称开设有举升槽（9），两个所述举升槽（9）内腔的底部对称固定连接有压电马达微位移平台（10），所述横向滑轨（11）左右两侧的正中对称活动连接在两个举升槽（9）的内腔中，两个所述压电马达微位移平台（10）的顶部对称固定连接在横向滑轨（11）左右两侧的底部。
5.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）顶部的左右两侧对称固定连接有限位座（14），两个所述限位座（14）内腔的正面对称固定连接有限位链条（16），两个所述驱动组件（6）相对的一侧对称固定连接有限位滑块（15），两个所述限位滑块（15）对称活动连接在两个限位座（14）的内腔中，两个所述限位链条（16）的背面对称固定连接在两个限位滑块（15）的背面。
6.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述移动台（36）左右两侧底部的正中对称固定连接有第二滑块（18），两个所述第二滑块（18）均与两个纵向滑轨（19）电性连接，所述移动台（36）内腔的正中固定连接有旋转气缸（20），所述旋转气缸（20）的顶部通过第二转轴固定连接在微动平台本体（23）底部的正中。
7.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述微动平台本体（23）顶部的正面和背面对称开设有第二活动槽（25），两个所述第二活动槽（25）的内腔中对称转动连接有第二直线滑台（26），两个所述第二直线滑台（26）相背的一侧通过第三转轴对称固定连接有第二直线电机（24），右侧所述第二直线电机（24）固定连接在微动平台本体（23）右侧的正面，左侧所述第二直线电机（24）固定连接在微动平台本体（23）左侧的背面，左侧所述微动组件（27）底部的正面连接在正面第二直线滑台（26）的外壁，右侧所述微动组件（27）底部的背面连接在背面第二直线滑台（26）的外壁。
8.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述微动组件（27）相对的一侧对称开设有移动槽（29），左侧所述移动槽（29）开设在左侧微动组件（27）右侧的正面，右侧所述移动槽（29）开设在右侧微动组件（27）左侧的正面，两个所述微动组件（27）相背的一侧对称固定连接有液压推杆（28）。
9.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述适配组件（30）相背的一侧对称活动连接在两个移动槽（29）的内腔中，所述适配组件（30）与液压推杆（28）相连接，两个所述适配组件（30）内腔相对一侧的正中对称开设有限位槽（33），所述限位槽（33）的内腔中固定连接在固定柱（35），所述固定柱（35）的外壁缠绕有弹簧（34），所述伸缩柱（31）活动连接在适配组件（30）的内腔中，所述伸缩柱（31）靠近适配组件（30）的一端固定连接有限位块（32），所述限位块（32）和伸缩柱（31）均套设在固定柱（35）的外壁，所述弹簧（34）的一端与限位块（32）连接，所述弹簧（34）的另一端固定连接在适配组件（30）的内腔中。
...【技术特征摘要】
1.一种具有微动平台的激光直写光刻设备，包括设备本体（1），其特征在于：所述设备本体（1）的左右两侧对称活动连接有驱动组件（6），两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称活动连接有横向滑轨（11），所述横向滑轨（11）的正面电性连接有第一滑块（12），所述第一滑块（12）的正面固定连接有激光直写头（13）；
2.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）正面的左侧固定连接有控制器（2），所述设备本体（1）左右两侧的正中对称开设有第一活动槽（4），右侧所述第一活动槽（4）的内腔中转动连接有第一直线滑台（5），所述第一直线滑台（5）的背面通过第一转轴固定连接有第一直线电机（3），所述第一直线电机（3）固定连接在设备本体（1）背面的右侧，左侧所述第一活动槽（4）的内腔中固定连接有导向柱（8）。
3.根据权利要求2所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的底部对称固定连接有驱动块（7），两个所述驱动块（7）对称活动连接在两个第一活动槽（4）的内腔中，右侧所述驱动块（7）连接在第一直线滑台（5）的外壁，左侧所述驱动块（7）套设在导向柱（8）的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：两个所述驱动组件（6）相对一侧的顶部对称开设有举升槽（9），两个所述举升槽（9）内腔的底部对称固定连接有压电马达微位移平台（10），所述横向滑轨（11）左右两侧的正中对称活动连接在两个举升槽（9）的内腔中，两个所述压电马达微位移平台（10）的顶部对称固定连接在横向滑轨（11）左右两侧的底部。
5.根据权利要求1所述的一种具有微动平台的激光直写光刻设备，其特征在于：所述设备本体（1）顶部的左右两侧对称固定连接有限位座（14），两个所述限位座（14）内腔的正面对称固定连接有限位链条（16），两个所述驱动组件（6）相对的一侧对称固定连接有限位滑块（15），两个所述限位滑块（15）对称活动连接在两个限位座（14）的内腔中，两个所述限位链条（16）的背面对称固定连接在两个限位滑块（15）的背面。
6.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：王新辉，
申请(专利权)人：江苏大衍光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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