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电光聚合物器件、光器件以及光集成电路制造技术
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文档序号:40916211
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本公开涉及一种电光聚合物器件、光器件以及光集成电路,该电光聚合物器件包括:衬底层;波导,定位在所述衬底层的上方;电光聚合物,覆盖在所述波导上,并且至少部分地围绕所述波导设置;极化电极,分布在所述电光聚合物的两侧;以及至少一个加热电极,定位在...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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