下载一种基于视觉数据分析的全自动晶圆检测设备的技术资料

文档序号:40914089

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本发明涉及晶圆检测技术领域,具体为一种基于视觉数据分析的全自动晶圆检测设备,所述全自动晶圆检测设备包括机罩、检测主体和分析机构,所述检测主体设置在机罩的内部,所述分析机构设置在机罩的外部,所述检测主体包括安装架,所述安装架的左右两端相对设置...
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