温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种碳化硅衬底中微管缺陷的检测方法，包括以下步骤：S1，准备激光检测仪器；S2，取待检测碳化硅衬底，置于所述样片旋转系统上，利用所述激光检测仪器发射激光，聚焦在碳化硅衬底的上表面和下表面进行扫描，获得碳化硅衬底底面上表面微管缺陷M...
该专利属于瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。