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本发明公开了一种晶圆扫描方法、装置、设备及存储介质，属于晶圆扫描技术领域。本发明通过确定晶圆的扫描起点，并基于所述扫描起点进行自动对焦，生成双峰值曲线；在进行晶圆扫描时，根据所述双峰值曲线进行对焦控制；在对焦完成后，检测运动平台的运动位置；...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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