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一种光场波前测量装置,包括:第一分束器,用于将光源提供的光束分成射向光束截止器的第一光束和射向待测元件的第二光束;或者,用于将待测光束反射后作为第二光束反射至第二分束器;第二分束器,用于将经所述第一分束器反射后的第二光束分成射向第一成像系统...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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