下载一种半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:40910902

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本发明提出一种半导体结构及其制备方法,半导体结构的制备方法包括提供一半导体基底;在半导体基底的部分表面上形成金属层,金属层具有一凸起;在金属层和半导体基底的表面上共形沉积介质层,以在介质层上同步凸起形成一台阶结构;在台阶结构位置处形成研磨阻...
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