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本发明涉及一种晶圆校准装置和方法。该晶圆校准方法包括：对线扫工业相机进行校准，得到校准后的线扫工业相机；根据获取到的晶圆的尺寸和类型参数驱动三轴向控制模块组控制真空吸附载台上的晶圆旋转，并通过校准后的线扫工业相机对旋转的晶圆进行图像采集，得...
该专利属于上海玖蓥智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海玖蓥智能科技有限公司授权不得商用。

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