下载一种硅片减薄砂轮的技术资料

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本技术提供一种硅片减薄砂轮,属于砂轮技术领域,以解决现有技术的减薄砂轮在打磨时降温效率低下的问题,一种硅片减薄砂轮,包括:打磨盘本体,所述打磨盘本体一端面外圆周阵列设置有打磨片,相邻所述打磨片之间设置有导流槽,多个所述打磨片内周设置有打磨环...
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