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本申请公开了一种卧式真空镀膜系统，包括依次排布的：进出料腔，具有供待镀膜工件进出所述卧式真空镀膜系统的进出料口；工艺腔，用于对所述待镀膜工件进行磁控溅射镀膜；加热腔，用于在镀膜前对所述待镀膜工件进行加热；传送组件，用于传送所述待镀膜工件进出...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。

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