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一种对位检测图案，用于半导体制程，包含具有多个不规则分布的第一线路图案及多个位于第一线路图案外侧的第一外层图案的第一图案单元，及具有多个不规则分布的第二线路图案及多个位于第二线路图案外侧的第二外层图案的第二图案单元。所述第一线路图案及第二线...
该专利属于普思半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普思半导体股份有限公司授权不得商用。

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