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一种降低单晶硅位错的方法技术
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文档序号:4090710
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本发明一种降低单晶硅位错的方法,属于单晶硅生产技术领域;提供一种只改进现有的生产工艺就能降低单晶硅位错的方法;采用的技术方案是:第一步:用无位错的单晶硅作为籽晶,将多晶硅原料装入坩埚,并将坩埚装入单晶生长炉,炉室内通氩气,加热熔化多晶硅原料...
该专利属于山西天能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西天能科技有限公司授权不得商用。
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