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本发明涉及精密设备领域，特别公开一种纳米载物台和晶圆缺陷检测设备，所述纳米载物台包括驱动器和负载平台，所述驱动器包括外壳、转动件及多个压电陶瓷，所述外壳具有安装槽；所述转动件和多个所述压电陶瓷均安装于所述安装槽内，多个所述压电陶瓷环绕所述安...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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