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电浆制程系统的载体黏贴机构技术方案
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文档序号:40897689
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本申请为一种电浆制程系统的载体黏贴机构,其设于一真空电浆制程腔体内并用于对一待制程基板进行电浆制程处理,真空电浆制程腔体内设有一第一电极,载体黏贴机构包括一第二电极板及一双面黏贴件。第一电极与第二电极板对应设置,第二电极板与第一电极之间形成...
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