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本技术涉及一种管式PECVD设备用石墨舟，它包括绝缘间隔布设的多片石墨舟片；所述石墨舟片在各个片位的内部区域开设有片位通孔，所述片位通孔中安装有易导电的良导体片。本技术的目的在于提供一种管式PECVD设备用石墨舟，提高片位的导电性能，让反应...
该专利属于福建金石能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建金石能源有限公司授权不得商用。

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