下载一种晶体生长装置的技术资料

文档序号:40894908

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本技术提供了一种晶体生长装置,所述晶体生长装置包括:坩埚;包裹在所述坩埚的外周面的保温层;设置在所述保温层的外侧周向的感应线圈;位于所述坩埚的下方且用于固定籽晶的晶座,所述籽晶深入所述坩埚内,所述晶座内设置有冷却系统;设置于坩埚的顶部的保温...
该专利属于厦门钨业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门钨业股份有限公司授权不得商用。

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