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本技术涉及碳化硅半导体技术领域，尤其涉及一种碳化硅外延片生长加热器，包括:电阻式加热器，包括主加热器与双辅助加热器；卫星盘，设置在主加热器上方；行星盘，设置有若干个且按圆周方向分布于卫星盘上；晶圆衬底，设置在行星盘上。在本技术中，通过将卫星...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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