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夹具及研磨抛光设备制造技术
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下载夹具及研磨抛光设备的技术资料
文档序号:40890042
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本技术涉及研磨设备技术领域,提供了一种夹具及研磨抛光设备。其中,固定盘的中部的通孔被隔板分隔为绕其轴线分布的若干子空间,子空间的周侧壁至少包括一面通孔的内周壁;夹持组件设置于子空间内,第一夹持件的运动方向与通孔的轴线垂直;固定盘设置有两个,...
该专利属于厦门钨业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门钨业股份有限公司授权不得商用。
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