下载压力传感器的技术资料

文档序号:40887543

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术的实施例公开了一种压力传感器,其中压力传感器包括:第一基板;第一隔离层层叠设置在第一基板上;第一隔离层中设有至少一个凹槽;力敏感体嵌设于凹槽内,力敏感体包括基底,在基底的厚度方向上,基底具有相对的第一表面和第二表面;基底包括容纳在基底...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。