下载一种真空退火炉抗干扰结构及控制装置的技术资料

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本技术属于真空退火炉领域,具体涉及一种真空退火炉抗干扰结构及控制装置。包括控制柜、半导体控制线、空气开关、电阻丝和热电偶,所述控制柜连接所述半导体控制线,所述半导体控制线连接电阻丝,在所述半导体控制线和电阻丝的连接通路上设置所述空气开关;所...
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