下载传感装置、处理装置以及对数据进行处理的方法的技术资料

文档序号:40880041

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传感装置具备:光源,出射频率被调制的光;干涉光学系统,将从所述光源出射的所述光分离为参照光和输出光,并生成通过所述输出光在物体的反射点被反射而产生的反射光与所述参照光所成的干涉光;光检测器,接受所述干涉光,并输出与所述干涉光的强度相应的检测...
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