下载一种半导体料片的清洁装置的技术资料

文档序号:40876977

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本发明公开了一种半导体料片的清洁装置,该清洁装置应用于半导体外观检测设备上,所述半导体外观检测设备上设置有传输直线轨道及可视化检测设备;所述清洁装置包括一竖直安装座、分别设置在传输直线轨道上、下方的两吸取机构、固定在竖直安装座上的回收箱,所...
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