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本发明涉及MRC磁控溅射台技术领域，尤其涉及一种具有高精度高自动化的MRC磁控溅射台，包括腔体支架，腔体支架外部设置有主腔腔体安装板，腔体支架外部外部固定连接有上下料底座，上下料底座外部设置有上下料机构，上下料机构包括对称设置在上下料底座外...
该专利属于芯材芯（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯材芯（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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