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本发明提供一种应用于晶圆预对准的数据采集方法、装置、设备和介质，该方法包括：S1，获取晶圆触发的第一脉冲信号；S2，当获取到上位机输出的开始采集指令时，开始对所述第一脉冲信号做分频处理，以获得第二脉冲信号；S3，以所述第二脉冲信号作为触发信...
该专利属于中科芯微智能装备（沈阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科芯微智能装备（沈阳）有限公司授权不得商用。

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